自動影像測量儀是平面二維幾何量測量的種高密、率測量儀器。主要是利用通過機、光、電、軟件等幾大領域的體化設計，采用非接觸的光學測量方法，自動測量各種工件的幾何尺寸，如長度、高度、深度、輪廓、表面形狀、角度和位置等。尤其適用于各種密工件的測量與質量控制，如電子零配件、密模具、沖壓件、塑膠件、PCB、LCD、螺紋、齒輪、成形刀具等。隨著自動控制技術的發(fā)展，手動影像測量儀逐漸為自動影像測量儀所取代。
在自動影像測量儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時先對焦,后對準,再讀數(shù)(計數(shù)),后計算處理。讀數(shù)來自于標尺即光柵系統(tǒng),對焦對準依靠顯微鏡光學系統(tǒng),還有個直接影響測量果和度的照明光源,因為,基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測量度不可忽視的因素。基于上述分析,可以歸納出以下幾個方面的誤差來源：
1.光柵計數(shù)尺的誤差；
2.工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差；
3.工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差；
4.顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶了的誤差；
5.測量室溫度帶來的誤差；
6.光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。
這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過程中已經(jīng)形成并固定下來,般無法改變;溫度影響帶來的誤差,須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。后項則常被忽視,而在實際測量中,當光源照明條件改變時,直接影響被測工件的照明果和影像質量,主要是因為影像測量儀的圖像是通過CCD接收,盡管CCD具有自動調節(jié)增益的功能,但當亮度過大時即失去調節(jié)功能,導致被測工件影像在縮小,當亮度過低時,工件影像反而變大。
這種影響,對于自動影像測量儀測量具有重復圖形結構之間的間距時,只要整個測量過程中照明條件保持不變,其影響可以忽略,因為每個重復圖形結構都同時在變大或變小,間距的測量計算直接了影像變形的影響,如測量玻璃尺寸、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種殊情形外,如測量圓的直徑、工件的長度和寬度,都將帶來明顯的誤差。
